真空腔體檢漏主要有三種：氦質譜檢漏，真空封泥檢測法，真空計檢漏法。下面具體介紹一下氦質譜檢漏法。

       氦質譜檢漏是一項很重要的技能，因檢漏效率高，操作簡單，儀器反應靈敏，精度高，不容易受到其他氣體干擾，在真空腔體檢漏中得到了很多應用。氦質譜檢漏儀是根據質譜學原理，用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測儀器。

       由分析器、離子源、分析器、冷陰極電離規、收集器組成的質譜室和抽氣系統及電氣等部分組成。質譜室里的燈絲發射出來的電子，在室內來回地振蕩，并與室內氣體和經漏孔進人室內的氦氣相互碰撞使其電離成正離子，這些氦離子在加速電場作用下進入磁場，在洛倫茲力的作用下偏轉，進而形成了圓弧形軌道，改變加速電壓可使不同離子通過磁場和接收縫到達接收極而被檢測到。其中，噴氦法和吸氦法是真空腔體氦質譜檢漏常用的兩種方法。